PE原子吸收光譜儀可測定多種元素，火焰原子吸收光譜法可測到10-9g/mL數量級，石墨爐原子吸收法可測到10-13g/mL數量級。其氫化物發生器可對8種揮發性元素汞、砷、鉛、硒、錫、碲、銻、鍺等進行微痕量測定。
目前，PE原子吸收光譜儀主要是由五部分組成，分別為激發光源、原子化器、單色器、檢測與控制系統、數據處理系統，此外還有儀器背景校正系統。
1、光源：
原子吸收光譜儀的光源主要有空心陰極燈和無極放電燈兩種。
①空心陰極燈：這種燈是目前普遍應用的光源，是由一個鎢棒陽極和一個內含有待測元素的金屬或合金的空心圓柱形陰極組成的。兩極密封于充有低壓惰性氣體帶有窗口的玻璃管中。接通電源后，在空心陰極上發生輝光放電而輻射出陰極所含元素的共振線。
②無極放電燈：這種燈是把被測元素的金屬粉末與碘一起裝入一根小的石英管中，封入267～667Pa壓力的氬氣。將石英管放于2450MHz微波發生器的微波諧振腔中進行激發。這種燈發射的原子譜線強，譜線寬度窄，測定的靈敏度高，是原子吸收光譜法中性能較為突出的光源。
2、原子化器：
可分為預混合型火焰原子化器、石墨爐原子化器、石英爐原子化器、陰極濺射原子化器。
①火焰原子化器：由噴霧器、預混合室、燃燒器三部分組成；其特點是操作簡便、重現性好；
②石墨爐原子化器：是一類將試樣放置在石墨管壁、石墨平臺、碳棒盛樣小孔或石墨坩堝內用電加熱至高溫實現原子化的系統；
③石英爐原子化系統：是將氣態分析物引入石英爐內在較低溫度下實現原子化的一種方法，又稱低溫原子化法。它主要是與蒸氣發生法配合使用；
④陰極濺射原子化器：是利用輝光放電產生的正離子轟擊陰極表面，從固體表面直接將被測定元素轉化為原子蒸氣。
3、單色器：
單色器的性能是指色散率、分辨率和集光本領。分出被測元素譜線。由凹面反射鏡、狹縫或色散元件組成；色散元件為棱鏡或衍射光柵；
4、檢測與控制系統：
檢測器用來完成光電信號的轉換，即將光信號轉換為電信號，檢測器一般用光電倍增管，近年來固體檢測器也開始得到應用。控制系統用來控制和協調光譜各部件工作，AAS大部分采用單片機或通用PC機控制。
5、數據處理系統：
通過PC機軟件實現信號積分、連續平均值、峰高、峰面積的記錄，同時計算出多次測量的平均值及相對標準偏差，對工作曲線采用不同的擬合，打印輸出測量結果等。
